2025年8月19日，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）声学MEMS标准化工作组年会在杭州召开。会议由浙江省质量科学研究院、全省声学智能传感与先进测量重点实验室、国家市场监督管理总局重点实验室（声学振动应用测量技术）承办，旨在推动我国微机电技术标准化工作，促进声学MEMS产业化发展。浙江省质量科学研究院党委委员、副院长朱怀球，先进制造计量研究中心主任出席会议，来自中国科学院声学研究所、北京大学、重庆大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院空天院、哈尔滨工程大学、中北大学、杭州电子科技大学、安徽北方微电子研究院集团有限公司、安徽奥飞声学科技有限公司等20余位专家学者参与此次会议。

会议围绕声学MEMS技术标准化展开，重点探讨了《MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法》国家标准草案的制定与修订工作。会上，朱怀球向与会委员的到来表示热烈欢迎，并重点介绍了省质科院以计量测试能力支撑声学振动相关产业高质量发展的工作成效。北京大学卢奕鹏研究员详细介绍了《MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法》国家标准草案，各参与单位纷纷就如何推动MEMS压电薄膜性能测量技术标准化提出了宝贵的意见和建议。杭州电子科技大学轩伟鹏教授、中北大学刘涛博士分别作了题为《高频大带宽射频BAW滤波器研究》和《微纳声学传感的前沿突破与创新探索》报告。

会上，先进制造计量研究中心交通和声学计量测试研究所科研人员介绍了全省声学智能传感与先进测量重点实验室，国家市场监督管理总局重点实验室（声学振动应用测量技术）在声学振动计量测试领域取得的科研进展及成果。

此次工作组年会进一步夯实了声学MEMS领域的标准化平台，明确了未来工作的方向和任务，加强了省质科院与声学MEMS相关科研院所、高校、企业的沟通协作机制，通过合作制定原创性、高质量的声学MEMS国家标准，为我国MEMS技术的发展提供强有力的支撑。