省质科院两项省科技厅基础公益计划项目通过验收

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4月23日,省质科院承担的两项省科技厅基础公益计划项目《基于声表面波技术快速无损检测低介电常数材料的机械特性的应用基础研究》《高强度聚焦超声非线性谐波幅值与相位研究》高质量完成既定目标和任务,顺利通过验收。

基于声表面波技术快速无损检测低介电常数材料的机械特性的应用基础研究》项目基于SAW技术精确表征层状low-k材料和图形化互连薄膜机械特性,建立了声表面波在图形化薄膜/衬底分层结构中的传播模型,研制形成低介电常数机械特性无损测量系统,可为low-k材料关键参数在线检测提供服务。该项研究提高了对低介电常数材料的机械特性测量的可靠性、适应性、便捷性。

高强度聚焦超声非线性谐波幅值与相位研究》项目通过利用数值计算方法对聚焦超声非线性声场进行仿真,提出对其非线性信号进行零相位滤波,保留各谐波的初始相位信息,不失真地提取各谐波相位、谐波幅值特性。系统地研究了与HIFU热效应、机械效应治疗密切相关的非线性谐波相位、谐波声压幅值、声压正负峰值等特性参数,探索HIFU非线性物理机理,并进行了实验验证。相关研究成果为HIFU医疗器械的研制及其在精准医疗的有效应用提供坚实的理论基础和实验依据。

下阶段,省质科院将进一步发挥总局重点实验室平台载体优势和创新团队人才聚集优势,推动成果在更广领域落地,让科技创新真正惠及民生,促进科技与社会需求深度融合。

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